國家知識產(chǎn)權局信息顯示,漠潤(無錫)新材料有限公司;漠潤(無錫)陶瓷材料有限公司申請一項名為“一種晶圓加工用清洗機”的專利,公開號CN121237692A,申請日期為2025年9月。專利摘要顯示,本發(fā)明涉及晶圓加工領域,具體是一種晶圓加工用清洗機,包括安裝框架,還包括:清洗箱,清洗箱側壁上開設有滑動凹口;兆聲清洗機構,兆聲清洗機構包括加液管,加液管上設置清洗管,清洗管與兆聲清洗頭連接;還包括往復驅(qū)動組件,往復驅(qū)動組件置于清洗箱上,轉(zhuǎn)動夾持機構,轉(zhuǎn)動夾持機構包括固定框,固定框上設置有往復移動板,往復移動板底部設置有第二齒條板;還包括第二安裝框,第二安裝框上開設連接凹口,連接凹口上滑動外齒輪,外齒輪與第二齒條板嚙合連接;外齒輪內(nèi)部通過彈性夾持組件與晶圓本體連接;兆聲清洗頭置于晶圓本體的兩側,本發(fā)